図解入門よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み［第3版］

佐藤淳一

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商品情報

発売日： 2019年12月05日頃
著者／編集：佐藤淳一(著)
シリーズ：よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
出版社：秀和システム
発行形態：単行本
ページ数： 264p
ISBN： 9784798060378

商品説明

内容紹介（出版社より）

半導体の製造に不可欠な半導体製造装置の詳細を初心者に分かるように解説した半導体製造装置の入門書です。2019年現在の最新情報を踏まえて改定した最新版解説書です。

内容紹介（「BOOK」データベースより）

製造装置の構想・構成から、検査・想定・解析装置まで。製造装置の現状と進歩が図解でよくわかる！

目次（「BOOK」データベースより）

第１章　半導体製造装置を取り巻く現状／第２章　半導体製造装置をファブから理解する／第３章　洗浄・乾燥装置／第４章　イオン注入装置／第５章　熱処理装置／第６章　リソグラフィー装置／第７章　エッチング装置／第８章　成膜装置／第９章　平坦化（ＣＭＰ）装置／第１０章　検査・測定・解析装置／第１１章　後工程装置

著者情報（「BOOK」データベースより）

佐藤淳一（サトウジュンイチ）
京都大学大学院工学研究科修士課程修了。１９７８年、東京電気化学工業（株）（現ＴＤＫ）入社。１９８２年、ソニー（株）入社。一貫して、半導体や薄膜デバイス・プロセスの研究開発に従事。この間、半導体先端テクノロジーズ（セリート）創立時に出向、長崎大学工学部非常勤講師などを経験（本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです）

商品レビュー（5件）

総合評価: 3.80

ブックスのレビュー（2件）

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(無題)

購入者さん

評価 3.00

投稿日：2023年07月28日

プロセカの本に引き続き購入。唸りながら勉強中。

0人が参考になったと回答
ありがとうございました！

楽天大好きマン3865

評価 5.00

投稿日：2021年03月15日

とても満足です。ありがとうございました！！
半導体に関する本になかなか辿り着けなかったので助かりました！ありがとうございます。

0人が参考になったと回答

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ブクログのレビュー（3件）

評価4.00
投稿日：2023年08月29日

仕事用。
半導体チップのエンジニアである著者による、各プロセスの半導体製造装置の構造・仕組み・来歴に関する専門書。

仕事で半導体業界に関わっているので半導体チップの大まかな工程や業界構造については知っているが、各プロセスや製造装置の詳細まで完全に理解しているわけではなかったので、体系的な知識を頭に入れたいと思って読んだ。

半導体製造は今や完全なる設備産業であり、複雑な製造プロセスが半導体製造装置メーカが供給する装置によって自動化されている。
それぞれのプロセスで設計思想や制約条件、求められる機能が異なるので、これらを理解しておくことは重要である。

勿論、専門書なので専門用語が多く内容は簡単ではないが、丁寧に順を追って説明されるので比較的理解しやすかった。ちゃんと読めば置いていかれるようなことはないと思う。

もっと詳細な内容は深掘りできるが、今の職務上はこのレベルの理解で良いと思うので、本書の内容を反復してしっかり頭に入れたい。
また、半導体業界は特に技術発展のスピードが速いので、最新技術やキープレーヤーの動向には日々注視したいと思う。
評価4.00
投稿日：2023年06月07日
「よくわかる半導体プロセスの基本と仕組み」の姉妹書。本文中にしばしば前著を参照してほしい旨が記載されているが、体感としては8割方記載内容が被っている。本書の方が装置の構成に関する記載は詳しく、個人的にはその部分に学びが多かったため、こちらだけ読めば良いと思う。(逆に言うと、やや装置構成に関する記載はマニアックなので、シンプルに半導体プロセスを概観したい場合は前著の方が好適に思う)
評価3.00
投稿日：2022年12月25日
部署内で回し読みに良いかと購入。同じシリーズの微細化の課題と内容重複多いものの、装置視点でまとまっているので読みやすいかと。このシリーズは初心者でも読みやすいと感じますね。